退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响

• 作者: 普朝光 杨宇 杨明珠 王静宇 郭杰 阚家德
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: BST 退火 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 3044字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.022

摘要

用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用改进的Sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜,然后进一步对薄膜进行退火实验:对(110)方向生长BST薄膜在550～750℃进行恒温退火.X射线衍射分析表明:退火温度在650℃以上时,BST薄膜转变为较为完整的ABO3型钙钛矿晶体结构,更高的退火温度将提高晶体的取向度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学材料科学与工程系	101	377	9.0	12.0
2	普朝光		10	87	7.0	9.0
3	杨明珠		4	33	3.0	4.0
4	阚家德	云南大学材料科学与工程系	21	92	6.0	8.0
5	王静宇		4	17	2.0	4.0
6	郭杰	云南大学材料科学与工程系	1	13	1.0	1.0