喷墨打印制备的SnO2薄膜的气敏特性

• 作者: 张彩碚 沈文锋 赵岩
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 喷墨打印 二氧化锡 气敏薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2|TQ134.3+2|TB43
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.01.002

摘要

简介了喷墨打印制备薄膜技术的优势与特点,配制了SnO2前驱溶液墨水,并利用该技术在金叉指氧化铝基片上喷镀SnO2前驱溶液墨水,而制得了SnO2气敏薄膜元件.利用XRD分析了SnO2薄膜的晶体结构.通过控制喷打墨水的次数,方便地控制了最终薄膜的厚度.并初步探讨了喷墨打印次数对最终薄膜元件性能的影响.当薄膜只喷打一次时,具有极高的电阻值,而且灵敏度比较低.而随着喷打次数的增加,即薄膜厚度的提高,薄膜电阻也随之降低,并对乙醇具有较好的气敏性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵岩	中国科学院金属研究所	66	1012	19.0	29.0
2	张彩碚	东北大学理学院	64	672	15.0	23.0
3	沈文锋	东北大学理学院	2	9	2.0	2.0