提高(100)晶向磷化铟单晶的成晶率和质量的研究

• 作者: 吕旭如 孙文荣 曹慧梅 杨子祥 段满龙 焦景华 赵建群 赵有文
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磷化铟(InP) 液封直拉法(LEC) 孪晶 均匀性 固液界面
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 460-463
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.05.012

摘要

通过对高压液封直拉法单晶生长过程的热传输和影响熔体温度起伏的几个关键因素的分析,研究适合生长(100)晶向磷化铟单晶的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率,重复地生长出了整锭掺硫和掺铁的、直径为50mm和76mm的(100)磷化铟单晶.测试结果表明我们生长(100)磷化铟单晶的热场在生长过程中使晶锭保持较为平坦的固液界面,可稳定地获得具有低的缺陷密度和良好的电学均匀性的高质量磷化铟单晶材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵有文	中国科学院半导体研究所材料科学中心	42	217	7.0	11.0
2	段满龙	中国科学院半导体研究所材料科学中心	11	95	5.0	9.0
3	孙文荣	中国科学院半导体研究所材料科学中心	7	36	4.0	6.0
4	焦景华	中国科学院半导体研究所材料科学中心	4	24	3.0	4.0
5	赵建群	中国科学院半导体研究所材料科学中心	3	22	3.0	3.0
6	杨子祥	中国科学院半导体研究所材料科学中心	7	32	4.0	5.0
7	曹慧梅	中国科学院半导体研究所材料科学中心	1	10	1.0	1.0
8	吕旭如		1	10	1.0	1.0