涡轮分子增压泵的研究现状与进展

• 作者: 于治明 刘波 巴德纯 杨乃恒
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 牵引分子泵 涡轮分子泵 复合分子泵 涡轮分子增压泵
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 32-38
• 页数: 7页
• 分类号: TB752+.27
• 字数: 4347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.04.007

摘要

综述了涡轮分子增压泵的研究现状与进展.涡轮分子增压泵是一种动量传输型真空泵,它的出口压力范围可达1000 Pa,通过计算流体动力学方法(CFD法)和直接模拟蒙特卡罗法(DSMC)可以模拟计算抽气通道内气体的流动,这两种互补的方法可以研究从粘滞流到分子流的全部抽速曲线,从而指导新型涡轮分子增压泵的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯		250	1491	18.0	22.0
2	杨乃恒		40	356	12.0	17.0
3	于治明		8	95	6.0	8.0
7	刘波		3	27	3.0	3.0