JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除

• 作者: 张文德 李煊 陆敏
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 扫描电子显微镜 故障分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 大型仪器的维护与维修
• 页码范围: 53-58
• 页数: 6页
• 分类号: O657.32
• 字数: 4620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3757.2003.01.013

摘要

在介绍真空系统联锁控制流程图的基础上,选择了粗真空系统抽力变差、进样系统泄漏、真空联锁保护电路误动作、二次电子检测高压电路故障、二次电子检测电路故障、倍率放大器故障和图象放大倍率校正等七个有代表性的、已排除的故障实例进行深入分析研究,提出排除故障的思路和办法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李煊	中国石化集团股份有限公司上海石化研究院	12	2	1.0	1.0
2	陆敏	中国石化集团股份有限公司上海石化研究院	10	1	1.0	1.0
3	张文德	中国石化集团股份有限公司上海石化研究院	11	1	1.0	1.0