各向异性腐蚀表面粗糙度的"应力模型"

• 作者: 姜岩峰 王维波 郝达兵 黄庆安
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 各向异性腐蚀 激活能
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 202-206
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.02
• 字数: 4701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2003.03.014

摘要

微电子机械系统(M一定程度的不平面貌,针对这一现象提出了"应力模型",用来解释腐蚀后表面粗糙度出现的物理机制,对表面激活能、腐蚀液激活能等物理概念进行了分析,提出了腐蚀表面粗糙度的计算公式,解释了各向异性腐蚀与表面形貌相关的实验现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝达兵		3	22	2.0	3.0
2	姜岩峰	北方工业大学现场总线技术与自动化北京市重点实验室	44	285	7.0	15.0
3	王维波		7	15	3.0	3.0