消像差光栅的理论及实验研究

• 作者: 付绍军 何世平 刘颖 叶为全 徐向东 朱向冰 洪义麟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 刻槽分布函数 像差 消像差光栅
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器
• 页码范围: 354-358
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.04.008

摘要

对消像差光栅进行了理论和实验研究.用光程函数和费马原理研究光栅的成像,用刻槽分布函数表示光栅的刻槽曲率及间距变化.对成像的理论分析表明光栅刻槽分布函数比刻槽间距更容易表达像差,给出了消像差光栅的表达形式.比较了SD、WFA、LPF等光栅的参数优化方法.探讨了消像差光栅密度的干涉测量法,设计了光路,对光栅密度进行了测量.