无油分子泵机组的组装

• 作者: 宋洪 李琦 董海义
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 无油分子泵 机组 组装
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TB753
• 字数: 2550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.05.014

摘要

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATP100涡轮分子泵、一台MDP5011牵引分子泵及一台VRC公司生产的1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程.文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择.本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷,较好地满足了使用要求,为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李琦	中国科学院高能物理研究所	64	336	11.0	14.0
2	董海义	中国科学院高能物理研究所	14	13	2.0	3.0
3	宋洪	中国科学院高能物理研究所	7	7	2.0	2.0