悬臂式RF MEMS开关的设计与研制

• 作者: 初建朋 戈肖鸿 朱自强 朱荣锦 杨根庆 范忠 贾铭 赖宗声 郭方敏 陆卫
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 插入损耗 隔离度 ANSYS软件 阈值电压
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1190-1195
• 页数: 6页
• 分类号: TN405|TN304
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.11.014

摘要

介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω*cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/Au CPW共面波导上,金/SiOxNy/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于"关断"态,其隔离度小于-35dB(20～40GHz);阈值电压为13V;开关处于"开通"态,插入损耗为4～7dB(1～10GHz),反射损耗为-15dB.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟.