氧和氩等离子辅助电子束蒸发制备高质量ZnO薄膜

• 作者: 刘益春 初国强 汤庆鑫 路丽霞 钟殿强 齐秀英
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子辅助 电子束蒸发 光致发光 热氧化
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 284-288
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3
• 字数: 2559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2003.03.014

摘要

采用等离子辅助电子束蒸发技术制备高纯金属锌膜,然后在氧气气氛下经高温热处理得到氧化锌的多晶薄膜.X射线衍射谱的结果表明:未经热氧化样品由金属锌和氧化锌纳米晶组成,随着热氧化温度的升高氧化锌纳米晶粒长大,形成纳米氧化锌多晶薄膜且薄膜结晶性增强;光致发光谱表明:样品均具有较强的紫外自由激子发光. 由于未经热氧化样品中氧化锌纳米晶粒较小,具有较强的量子限域效应,因而经高温氧化后样品发光峰有较大红移.随着热氧化温度的进一步升高,束缚激子发射随热氧化温度升高而减弱,且发光峰位随热氧化温度升高出现蓝移;变温光致发光谱表明:紫外发光主要来自自由激子发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟殿强	东北师范大学物理系	6	35	3.0	5.0
2	齐秀英	东北师范大学物理系	6	35	3.0	5.0
3	刘益春	东北师范大学物理系	22	181	9.0	12.0
7	初国强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	93	6.0	9.0
8	汤庆鑫	东北师范大学物理系	1	15	1.0	1.0
9	路丽霞	东北师范大学物理系	1	15	1.0	1.0