大气下空气滑膜阻尼对微机械惯性传感器的影响

• 作者: 焦继伟 王跃林 董林玺 陈永
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 滑膜阻尼 电容检测 栅形结构
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 271-274
• 页数: 4页
• 分类号: TN403|TP212.12
• 字数: 1607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2003.05.007

摘要

设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器,并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式,它无需真空封装,可以在大气环境下工作,且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明,其在大气下检测模态的Q值可以达到715.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	浙江大学信息与电子工程学系	39	434	11.0	19.0
5	陈永	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	11	140	6.0	11.0
6	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	24	143	7.0	10.0
7	董林玺	浙江大学信息与电子工程学系	3	35	3.0	3.0