国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制

• 作者: 李万福 秦清海
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 镀膜机 IC/5 继电控制
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 1471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.06.006

摘要

介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法,从而实现其与INFICON IC/5晶振薄膜沉积监视器之间接口电路的转接.生产试验表明,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动化监控.