磁控溅射有机聚合物衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及光电性能研究

• 作者: 张士勇 郝晓涛 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 ZnO:Al 光电性质
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TK511+.4
• 字数: 1960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.01.003

摘要

采用射频磁控溅射法在有机薄聚合物膜衬底上制备出铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)透明导电膜,对薄膜的低温制备(25～180℃)、结构和光电特性进行了研究.制备薄膜为多晶膜,具有纯氧化锌的纤锌矿结构和(002)择优取向.制备薄膜在可见光区透过率达到74%,最低电阻率为8.5×10-4Ω@cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	44	495	13.0	20.0
2	郝晓涛	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	12	158	7.0	12.0