用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术

• 作者: 宋洪侠 常城 王晓东
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微术 微观几何形状 传感器
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 8-11,15
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TH74
• 字数: 3195字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.09.003

摘要

随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东	大连理工大学微系统研究中心	115	1141	19.0	28.0
2	宋洪侠	大连理工大学机械工程学院	18	221	8.0	14.0
3	常城	哈尔滨工程大学自动化学院	7	36	3.0	6.0