微机电系统技术及其在计量领域的应用

• 作者: 潘光斌
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微系统技术 片上系统 测量标准
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TB9
• 字数: 2516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2003.10.005

摘要

在简要介绍目前国内外微机电系统技术的发展趋势及成果基础上,着重讨论了该技术给计量测试工作带来的积极影响,尤其是基于微系统技术的校准设备在计量领域的应用,以及国外的相关研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘光斌	中国工程物理研究院计测中心	24	81	6.0	7.0