一种测量透明薄膜厚度的新方法

• 作者: 王玉田 王遂 赵世强 隋红丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 厚度测量 薄膜 干涉测量 电荷耦合器件
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TP43|TH744.3
• 字数: 1654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.01.002

摘要

介绍了一种分析获取干涉图的新方法,可使得计算机处理简单,我们可以利用此结论很容易地测量出薄膜的厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉田	燕山大学电气工程学院	187	2131	24.0	35.0
2	王遂	燕山大学电气工程学院	3	19	3.0	3.0
3	赵世强	燕山大学电气工程学院	1	4	1.0	1.0
4	隋红丽	燕山大学电气工程学院	1	4	1.0	1.0