Unaxis的Cube Star溅镀系统

• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: CUBE Unaxis 倍速 生产周期 能将 停机时间 CUBE 靶材 暂停使用 产品质量
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 58-58
• 页数: 1页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】 Cube Star是Unaxis针对可录光盘CD-R所开发的一种最新的高产能溅镀系统。它将生产产能大幅提高至每小时3600张CD-R光盘。Cube Star系统有两个装卸腔(Load Lock),每一个溅镀腔的生产周期为2秒钟,由于系统可以同时装载及卸载两张光盘,因此Cube Star系统每一秒钟就产出一片光盘。高倍速的CD-R及未来的DVD-R所需要的金属反射层厚度较厚,CubeStar无疑也符合了这个趋势的要求,它将溅镀时间提升至1.2秒。溅镀银反射层的厚度增加到100nm。Cube Star还具备其他的优点,例如它能将光盘材料成本降到最低,因为它配备新的阴极溅镀枪(Cathode)ARQ930S,使