基于光谱法的晶体厚度测量

• 作者: 余飞鸿 吴国忠 孙宏波 曾广杰 贺银波
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体厚度测量 光谱法
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: O433.1
• 字数: 2302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2003.01.001

摘要

首次提出利用光谱特性来确定晶体厚度.从理论上推导出其实现的可行性,然后结合实验分析了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法,并分析了影响测量精度的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴国忠	浙江大学电气学院电子技术研究所	69	534	14.0	20.0
2	余飞鸿	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	67	718	15.0	23.0
3	曾广杰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	17	130	7.0	11.0
4	贺银波	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	9	104	5.0	9.0
5	孙宏波	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	2	1.0	1.0