利用红外反射光谱法研究6H-SiC表面的SiO2特性

• 作者: 刘洪军 王鸥 邬瑞彬 龚敏
• 来源期刊: 四川大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 6H-SiC SiO2 红外反射 退火 密度
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 707-710
• 页数: 4页
• 分类号: O485
• 字数: 2369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2003.04.023

摘要

通过干氧氧化的方法,在6H-SiC表面生长一层SiO2层,接着置于N2气氛中经过不同的温度退火,使用红外显微仪分别测量退火前后的红外反射谱,通过观测表面氧化层SiO2的红外反射谱图中特征反射峰位(1090cm-1附近)的变化,以判断退火前后表面氧化层密度的变化情况,进一步推断氧化层的结构变化与杂质类型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚敏	四川大学物理系	109	372	10.0	12.0
2	王鸥	四川大学物理系	2	8	1.0	2.0
3	邬瑞彬	四川大学物理系	3	20	2.0	3.0
4	刘洪军	四川大学物理系	2	18	2.0	2.0