SOI电路的研制

• 作者: 张斌 栾兰 王雪峰
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 工艺 版图设计
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 13-14,21
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2003.04.005

摘要

本文介绍了SOI晶体管的结构和特点,并对体硅CMOS电路和SOI CMOS电路在工艺及版图设计上进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌		2	0	0.0	0.0
2	栾兰		3	18	2.0	3.0
3	王雪峰		2	3	1.0	1.0