CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用

• 作者: 冯克勤
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 平板显示 荫罩 光刻 精细腐蚀 掩膜版
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 219-221
• 页数: 3页
• 分类号: TN27
• 字数: 2950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2003.03.014

摘要

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀.将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力.