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电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
微机械加速度计
模型
方程
参数
厚膜混合集成电容式加速度计
电容式加速度计
微小电容检测
厚膜混合集成
一种新型电容式位移传感器电路设计
电容
位移
传感器
电容补偿
微机械电容式加速度计读出电路研究与设计
MEMS加速度计
微弱信号
电容检测
读出电路
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 静电电容式位移计
来源期刊 国外传感技术 学科 工学
关键词 静电电容式 位移计 工作原理 电极 静电电容变换器 运算显示器
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 130-132
页数 3页 分类号 TH822
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研究主题发展历程
节点文献
静电电容式
位移计
工作原理
电极
静电电容变换器
运算显示器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外传感技术
双月刊
合肥市1002信箱
出版文献量(篇)
571
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