离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数

• 作者: 李金华 袁宁一 陈汉松
• 来源期刊: 哈尔滨理工大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钒薄膜 离子束增强沉积 热电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: O484
• 字数: 1102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2683.2003.05.001

摘要

用离子束增强沉积法从五氧化钒直接制备二氧化钒薄膜.750℃氮气退火后,薄膜的热电阻温度系数高达4.07%.高剂量的氢、氩混合束的注入使薄膜中的氧缺位较少,并在薄膜中引入了应力,使薄膜的温度-电阻曲线的斜率变大,可能是TCR增大的原因.