变截面微管道的制作与气体流动特性分析

• 作者: 丁英涛 姚朝晖 郝鹏飞
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 变截面微管道 扩张角 微电子机械系统 体积流量 Knudsen数
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 144-147
• 页数: 4页
• 分类号: O354.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2003.02.007

摘要

为提高硅微无阀泵和空间微推进器的性能,采用微电子机械工艺在硅片上加工出不同长度、不同喉部宽度、断面形状为矩形的变截面微管道,实验测量微管道内氮气的流量特性,分析不同因素对流动特性的影响.研究发现,相同变截面微管道,扩张方向的性能好于收缩方向;不同变截面微管道,随着扩张角、等直段长度、宽度的不断增加,流动性能逐渐提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚朝晖	清华大学工程力学系	49	467	12.0	19.0
2	郝鹏飞	清华大学工程力学系	48	384	11.0	18.0
3	丁英涛	清华大学工程力学系	8	41	4.0	6.0