热梯度化学气相沉积工艺与设备的发展

• 作者: 蒋建纯
• 来源期刊: 炭素
• 学科: 工学
• 关键词: 感应加热 CVD 多孔坯体 增密
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: TF748.52
• 字数: 6343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8948.2003.01.004

摘要

用化学气相沉积法增密多孔坯体,尤其是炭纤维增强坯体,使坯体沿横截面建立起一定的温度梯度,控制碳源气体仅在坯体高温带上裂解、沉积.沉积增密的坯体的电导性和热导性提高,区域温度升高,使高温区向低温区扩展,沉积区逐步扩大.该工艺较能保证获得所需要的材料的显微组织结构,并能大大提高沉积效率.为克服当前广泛使用的等温等压法CVD及压差法CVD的工艺设备生产周期长和生产成本高的不足,本文介绍了几种热梯度化学气相沉积的工艺与设备,同时也比较了其可行性与优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋建纯	中南大学粉末冶金国家重点实验室	12	89	6.0	9.0