不同衬底上的ZnO薄膜紫外光致发光

• 作者: 张德恒 王卿璞 薛忠营
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜,射频磁控溅射,紫外发光 退火
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 1484-1487
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3128字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.06.033

摘要

用射频磁控溅射法在蓝宝石、硅和石英衬底上沉积出具有好的择优取向的多晶ZnO薄膜. 在270 nm波长的光激发下室温下可观察到显著的紫外光发射(波长为356 nm)和较弱的蓝光发射(波长为446 nm). 经高温退火后薄膜的结晶质量显著提高, 在蓝宝石、石英衬底上沉积的薄膜,其积分发光强度分别增加了7倍和14倍.而硅衬底上的膜发光强度增强不太显著.紫外光发射源于电子的带间跃迁,而蓝光发射是由电子从氧空位浅施主能级到价带顶的跃迁引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛忠营	山东大学物理与微电子学院	5	220	4.0	5.0
2	张德恒	山东大学物理与微电子学院	18	450	12.0	18.0
3	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0