端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究

• 作者: 朱昌 杭凌侠 潘永强 陈智利
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 端部霍尔离子源 等离子体 离子束辅助沉积 光学薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.01.015

摘要

研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源,论述了该源的工作 原理以及伏安特性.着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法,并对测量结果进行了分析、比较.对该离子源的离子束流密度和均匀性进行了测试和分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杭凌侠	西安工业学院光电科学与工程系	93	777	15.0	22.0
2	潘永强	西安工业学院光电科学与工程系	63	392	11.0	15.0
3	朱昌	西安工业学院光电科学与工程系	39	245	9.0	13.0
4	陈智利	西安工业学院光电科学与工程系	46	203	8.0	11.0