射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的发光特性

• 作者: 张德恒 王卿璞 薛忠营 陈寿花 马洪磊
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: O472.3
• 字数: 2910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2003.01.012

摘要

利用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出具有(002)择优取向的氧化锌薄膜,用波长为300nm的光激发,观察到在446nm处有一强的光致发光峰,它来自于氧空位浅施主能级上的电子到价带上的跃迁.并讨论了发光峰与氧压的关系以及退火对它的影响,且给出了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
2	薛忠营	山东大学物理与微电子学院	5	220	4.0	5.0
3	张德恒	山东大学物理与微电子学院	18	450	12.0	18.0
4	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0
5	陈寿花	山东大学物理与微电子学院	1	51	1.0	1.0