激光用于LCD板ITO膜修复的研究

• 作者: 姚建铨 宁继平 李嘉强 李晓光 鲁笑春
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光修复 透光导电膜 激光聚焦系统
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 光学技术
• 页码范围: 15-17,20
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TN249
• 字数: 2166字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2003.02.005

摘要

对激光修复LCD板ITO膜的过程及影响因素进行了理论分析和计算.设计并加工出一套激光聚焦系统,由一个用于扩束和压缩发散角的倒置开普勒望远镜和聚焦透镜组成,其聚焦光斑为15μm.优化了调Q基模Nd:YAG激光器的参数,并用其进行了实验研究.结果表明,能修复各种不同厚度的ITO膜,打的孔小于20μm,位置漂移量小于3μm.