用四极质谱计定性分析残气成分的变化

• 作者: 张兆祥 张浩 张耿民 薛增泉 赵兴钰
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四极质谱计 残气成分 质谱
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 2931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.05.008

摘要

四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张耿民	北京大学电子学系	26	189	8.0	13.0
2	张兆祥	北京大学电子学系	26	156	7.0	11.0
3	薛增泉	北京大学电子学系	66	466	11.0	19.0
4	张浩	北京大学电子学系	40	197	9.0	12.0
5	赵兴钰	北京大学电子学系	28	187	7.0	13.0