小型非球面轮廓测量仪的原理及应用

• 作者: 丁泽钊 余景池 倪颖 郭培基
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 轮廓仪 非球面加工
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 612-616
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 3544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.06.014

摘要

介绍了自行研制的FLY-I非球面轮廓仪的设计以及测量软件数学模型,其实用精度为1～2 μm.光学元件的抛光精度取决于精磨精度,本实验室现有的LOH高精度铣磨机床经过对第1次精磨后的光学元件面形进行修正,2次精磨后其精磨精度可达到2 μm.研究了这一非球面轮廓仪以配合LOH铣磨机床,测量得到1次精磨后的面形误差数据,经过误差反馈进行2次精磨,以保证光学元件的精磨精度.通过多次实验以及数据处理、分析,证明自行设计、装调的非球面轮廓仪达到了设计的精度要求,可满足实验室,光学加工车间对小型非球面精磨阶段面形的检测要求,即精磨面形误差在2 μm以内,同时也可直接用于中低精度非球面光学元件的最终检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基	苏州大学现代光学技术研究所	25	387	12.0	19.0
2	余景池	苏州大学现代光学技术研究所	41	634	17.0	23.0
3	丁泽钊	苏州大学现代光学技术研究所	7	93	6.0	7.0
4	倪颖	苏州大学现代光学技术研究所	8	146	6.0	8.0