铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨

• 作者: 万吉高 尹志民 王云 胡昌义 邓德国 高逸群
• 来源期刊: 贵金属
• 学科: 工学
• 关键词: 复合材料 铂薄膜 化学气相沉积 动力学
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TG146.3+3
• 字数: 2338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0676.2003.01.005

摘要

以乙酰丙酮铂为沉积源物质,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在Mo基体上制备了Pt薄膜.研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体(氩气)流速等沉积参数的关系.Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系,当温度为550℃时,Pt的沉积速率达到最大值;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高,Pt的沉积速率直线增加;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率.SEM波谱成分分析表明,Pt薄膜中含有少量的氧.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹志民	中南大学材料科学与工程学院	233	3801	29.0	51.0
2	胡昌义	中南大学材料科学与工程学院	7	73	5.0	7.0
4	邓德国		7	73	5.0	7.0
5	高逸群		4	62	4.0	4.0
6	万吉高		13	77	5.0	8.0
9	王云		4	51	4.0	4.0