Sn薄膜在信息领域的应用与研究

• 作者: 张玉忠
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 镀膜 蒸发源 衬底
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.03.016

摘要

通过对软金属Sn材料制备薄膜的研究,从而在工业生产中摸索出一些经验和工艺过程,最终在实际生产中取得很好的经济效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉忠		1	0	0.0	0.0