一种新的直线度误差测量装置

• 作者: 花世群
• 来源期刊: 江苏大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度误差 最小包容区域法 洛埃镜
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 92-94
• 页数: 3页
• 分类号: TG83
• 字数: 2336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2003.04.023

摘要

利用改进的洛埃镜干涉装置,设计了由直线度误差使洛埃镜偏转,通过改变等效双狭缝间距,进而改变干涉条纹间距的新的直线度误差测量方法.由导出的直线度误差与干涉条纹间距之间的关系,并用最小包容区域法对直线度误差进行评定.测量结果表明,新的直线度误差测量方法是可行的.此方法特别适用于短距离连续空间直线度误差的测量,并且测量系统具有结构简单、操作方便、精度高、应用范围广等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	花世群	江苏大学理学院	27	130	7.0	9.0