ZrN及其多层膜的性质和耐腐蚀性能

• 作者: 吕反修 唐伟忠 孙晓军 张增毅 李成明
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硬度 多层薄膜 耐腐蚀性
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TG172
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2003.04.013

摘要

用磁过滤电弧制备了ZrN和ZrN/TiN多层膜,磁控溅射制备了ZrN薄膜.结果表明,ZrN/TiN多层膜,由于纳米多层化作用,硬度高于ZrN和TiN的26GPa和21GPa,平均值达到34.5GPa.X射线衍射分析表明,ZrN/TiN多层膜由ZrN和TiN组成.过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的结合力为81N和77N,磁控溅射制备的ZrN薄膜的结合力为26N.极化曲线的结果显示,过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的耐腐蚀性显著优于磁控溅射制备的ZrN薄膜,讨论了两种方法制备薄膜性能差异的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料学院	106	860	16.0	21.0
3	孙晓军	中国科学院兰州化学物理研究所	28	303	11.0	16.0
4	李成明	北京科技大学材料学院	71	480	12.0	19.0
5	张增毅		3	75	3.0	3.0