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加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响
加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响
作者:
佟玉梅
吕反修
唐伟忠
张恒大
李成明
杨胶溪
陈广超
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石膜
氮气
形貌
晶体取向
成核密度
摘要:
利用直流等离子体喷射化学气相沉积法制备掺氮的金刚石厚膜.本文研究了在甲烷/氩气/氢气中加入氮气对金刚石膜生长、形貌和质量的影响.反应气体的比例由质量流量计控制,在固定氢气(5000sccm)、氩气(3000sccm)、甲烷(100sccm)流量的情况下改变氮气的流量,即反应气体中氮原子和碳原子的变化比例(N/ C比)范围是从0.06到0.68.同时金刚石膜在固定的腔体压力(4kPa)和衬底温度(800℃)下生长.金刚石膜用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征.结果表明,氮气在反应气体中的大量加入对直流等离子体喷射制备金刚石膜的形貌、生长速率、晶体取向、成核密度等有非常显著的影响.
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文献信息
篇名
加氮对直流电弧等离子体喷射金刚石膜生长、形貌和质量的影响
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
金刚石膜
氮气
形貌
晶体取向
成核密度
年,卷(期)
2003,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
386-392
页数
7页
分类号
O484.1
字数
1906字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-985X.2003.04.021
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吕反修
151
1208
18.0
24.0
2
唐伟忠
106
860
16.0
21.0
3
陈广超
27
235
9.0
14.0
4
张恒大
10
62
5.0
7.0
5
李成明
71
480
12.0
19.0
6
佟玉梅
22
268
10.0
15.0
7
杨胶溪
8
37
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氮气
形貌
晶体取向
成核密度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
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