无氢类金刚石碳膜的研究进展

• 作者: 任妮 马占吉 高欣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无氢类金刚石 类金刚石碳 拉曼谱 摩擦 磨损
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 176-181,186
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444|TB43
• 字数: 7376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.03.008

摘要

介绍了无氢类金刚石碳膜的制备方法,它们的机械、光学、电学性能,将无氢与含氢的类金刚石碳膜进行了简单比较,总结及探讨了它们的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任妮		13	164	8.0	12.0
2	马占吉		10	130	7.0	10.0
3	高欣		8	84	4.0	8.0