功能碳薄膜化学键成分的椭偏光谱研究

• 作者: 李芳 莫党 郭扬铭 陈第虎 魏爱香
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳薄膜 椭偏光谱 化学键
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 582-584
• 页数: 3页
• 分类号: O433.1|O484.5
• 字数: 2372字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.05.038

摘要

用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的碳薄膜样品.测量了2.0～5.0eV光子能量范围内各个碳薄膜样品的椭偏光谱.发现该谱与碳薄膜中的sp键比例有明显的关系.我们提出一种较简便的分析解谱方法,分析所测得的各个椭偏光谱,半定量地确定各碳薄膜样品的sp3C键与sp2C键比例.所得结果还与同类样品的拉曼光谱与吸收光谱测量结果相比较,结果基本上是一致的.研究结果表明椭偏光谱方法可以发展成一种较简便的、对样品无损伤的测定功能碳薄膜中的sp3C键成分的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芳	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	86	542	11.0	19.0
2	莫党	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	18	141	6.0	11.0
3	陈第虎	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
4	郭扬铭	中山大学理工学院光电材料与技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
8	魏爱香	中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室	2	10	2.0	2.0