激光干涉微轮廓测量仪

• 作者: 宋康 蒋庄德 赵玉龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微轮廓测量仪 压电陶瓷 激光干涉
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 245-249
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.03.006

摘要

基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪,载物平台采用步进电机和压电陶瓷(PZT)两级闭环驱动与定位,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围,压电陶瓷用于精密定位,重复定位精度为10 nm;测量光路采用共干涉系统,对机械振动,温度漂移不敏感;测量范围20 mm×20 mm×0.4 mm,纵向分辨率为0.32 μm,横向分辨率为0.5μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械工程学院	165	1512	18.0	28.0
2	赵玉龙	西安交通大学机械工程学院	81	540	14.0	19.0
3	宋康	西安交通大学机械工程学院	15	66	5.0	8.0