石英晶体表面溅射成膜及频率偏离特性的研究

• 作者: 赵龙章
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 石英晶体 频率偏离
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 专题介绍
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TH836
• 字数: 1653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.01.005

摘要

提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜, 研究了TiN薄膜的性能及其频率偏离特性. 对生物检疫和液体粘度等动态测定有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵龙章		7	4	1.0	1.0