基片与膜厚对硬质薄膜力学性能的影响

• 作者: 张惠娟 戴嘉维 李戈扬
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 两步压入法 薄膜 基片 硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 147-151
• 页数: 5页
• 分类号: TG115.5+1|O484
• 字数: 3919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.03.001

摘要

采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量.结果表明:采用同样工艺制备的TiN薄膜,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化.薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高;基体硬度的提高也使薄膜呈现较高的硬度和模量.分析认为薄膜内应力状态的改变是产生这些现象的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	戴嘉维	上海交通大学高温材料与高温测试教育部重点实验室	18	231	7.0	15.0
3	张惠娟	上海交通大学高温材料与高温测试教育部重点实验室	9	102	5.0	9.0