微机械光调制器激励机制的理论和实验研究

• 作者: 忻佩胜 茅惠兵 赖宗声
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 光调制器 固有频率
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 160-164
• 页数: 5页
• 分类号: TN491
• 字数: 3784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2003.03.005

摘要

讨论了一种具有Fabry-Perot结构的新型微机械光调制器,该光调制器由表面微机械工艺制备.理论分析表明,正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波对光调制器的驱动结果是完全不同的.测量结果表明,微机械光调制器有一系列的固有频率.对正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波信号的测量结果显示,调制器的响应是对驱动力中各频率成分的响应,和理论分析符合得非常好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	忻佩胜	华东师范大学电子科学与技术系	16	115	7.0	10.0
2	赖宗声	华东师范大学电子科学与技术系	136	779	13.0	18.0
3	茅惠兵	华东师范大学电子科学与技术系	12	117	6.0	10.0