直拉重掺硼硅单晶的研究进展

• 作者: 余学功 李春龙 杨德仁 沈益军 阙端麟 马向阳
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉硅 重掺硼 氧 缩颈
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 357-360
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2003.03.011

摘要

系统介绍了直拉重掺硼(B)硅单晶研究的最新进展.主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术,重掺B硅单晶的机械性能,重掺B硅单晶中的氧和氧沉淀,以及B的大量掺杂与大直径直拉硅单晶中空洞型(Void)原生缺陷的控制关系.在此基础上,探讨了当前直拉重掺B硅单晶生产和研究中存在的主要问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	马向阳	浙江大学硅材料国家重点实验室	60	404	10.0	17.0
3	阙端麟	浙江大学硅材料国家重点实验室	72	612	13.0	20.0
4	沈益军	浙江大学硅材料国家重点实验室	3	23	3.0	3.0
5	余学功	浙江大学硅材料国家重点实验室	18	119	7.0	10.0
6	李春龙	浙江大学硅材料国家重点实验室	2	9	2.0	2.0