冷阴极潘宁离子源的磁路研究

• 作者: 欧阳礼仁 郑德修
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 冷阴极 离子源 磁路
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 热点追踪
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: T61
• 字数: 2380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.02.006

摘要

研究了冷阴极潘宁离子源的磁路设计.在简要叙述冷阴极潘宁离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上,考虑了在设计冷阴极潘宁离子源磁路时的关键问题和解决方法,并给出了实验结果和分析结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑德修	西安交通大学电子物理与器件研究所	14	95	6.0	9.0
2	欧阳礼仁	西安交通大学电子物理与器件研究所	2	18	2.0	2.0