一种新的光学临近校正方法

• 作者: 吴为民 李卓远 洪先龙 王旸
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 基于规则 v-SVR 光学临近校正
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1266-1271
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.12.007

摘要

提出了一种新的光学临近矫正算法.首先建立了一套高效并且适用性强的规则描述,然后提出了一种新的规则运用方法.算法在规则数据表的基础上通过v-SVR方法建立规则描述同矫正数据之间的数学表达式,使得对于任意输入的规则描述都能够精确计算出相应的矫正数据.实验结果表明,该算法比传统的查表插值方法具有更高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪先龙	清华大学计算机科学与技术系	114	410	9.0	11.0
2	吴为民	清华大学计算机科学与技术系	22	101	5.0	9.0
3	李卓远	清华大学计算机科学与技术系	6	24	3.0	4.0
4	王旸	清华大学计算机科学与技术系	4	17	2.0	4.0