纳米器件的一种新制造工艺 --纳米压印术

• 作者: 梁迎新 王太宏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米图案 软刻印术 纳米压印术 热压雕版压印法 步进-闪光压印法
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 2-7
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 3973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.04.002

摘要

纳米压印术可以用于大批量重复性地制备纳米图形结构.此项技术具有操作简单、分辨率高、重复性好、费时少,成本费用极低等优点.本文介绍了较早出现的软刻印术的两种方法--微接触印刷法和毛细管微模制法.详细讲述了纳米压印术(主要指热压雕版压印法)的各步工序--压模制备、压印过程和图形转移,以及用于压印的设备、纳米图案所达到的精确度等,还简述了纳米压印术的另一方法--步进-闪光压印法.最后,通过范例介绍了纳米压印术在制作电子器件、CD存储器和磁存储器、光电器件和光学器件、生物芯片和微流体器件等方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王太宏	中国科学院物理研究所	47	240	9.0	13.0
2	梁迎新	中国科学院物理研究所	2	37	2.0	2.0