Ba0.5Sr0.5 TiO3薄膜、Ba0.1Sr0.9 TiO3/YBa2 Cu3O7-δ异质薄膜的制备及介电性能研究

• 作者: 彭炜 朱小红 朱建国 李林 胡文斐 郑东宁 陈莺飞
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 异质结构 微波器件 铁电 高温超导 薄膜 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 179-183
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 5181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.02.023

摘要

铁电钛酸锶钡(BSTO)薄膜具备十分优越的铁电/介电性能,在可调谐微波器件和动态随机存储器(DRAM)方面显示出十分诱人的应用前景.而YBa2Cu3O-δ(YBCO)高温超导薄膜作为其电极引入,明显降低了微波损耗,能够大大优化器件的性能.本文针对微波器件性能要求对比了各种常用基片的性能参数,描述了目前BSTO薄膜与BSTO/YBCO异质薄膜制备中存在的问题以及薄膜介电性能测试表征方法.利用脉冲激光沉积(PLD)技术成功制备出结构完整和质量较高的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.同时,在1.2°斜切LaAlO3基片上研制有Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质双层膜,在1MHz频率、77K温度条件下,其介电常数为1200,介电损耗为0.0045,±30V直流偏压时可调性达到60%,在液氮温度下表现出良好的应用前景.