母盘工艺对子盘复制质量的影响

• 作者: 王豪 陆晓辉
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘 坑壁 光刻胶 显影时间 形状尺寸 外参数 生产过程 表面缺陷 衍射光 注塑过程
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 27-28
• 页数: 2页
• 分类号: TQ596

摘要

【正】 在光盘复制生产过程中,常常会遇到许多问题,通过解决这些问题的实践,我们认为复制出现的很多问题与母盘工艺有非常大的关系,可以通过调整母盘的生产工艺加以解决。母盘的生产工艺影响子盘的复制质量,当子盘复制工艺优化之后,确定与之相适应的母盘制造工艺就显得尤为重要。本文根据试验讨论母盘压模的信息坑形状尺寸对子盘复制的各种影响及相应对策。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆晓辉		1	0	0.0	0.0
2	王豪		1	0	0.0	0.0