石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

• 作者: 严晖 孙嵩泉 李万福 胡焕林
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 石英晶体监控法 光学薄膜 热蒸发镀膜
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.05.004

摘要

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理.通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较,证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质.试验表明所镀膜层的光学性能优异,在光通信和激光器等领域具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡焕林	合肥工业大学机械与汽车工程学院	14	79	6.0	8.0
2	严晖	合肥工业大学机械与汽车工程学院	2	16	2.0	2.0