钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展

• 作者: 杨传仁 符春林 陈宏伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 铁电薄膜 基片 电极 晶界 界面 介电性能
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 255-263
• 页数: 9页
• 分类号: TN304|O485
• 字数: 4609字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.04.009

摘要

钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论,提出了研究中需要解决的一些问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0